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晶(jīng)圆检测设备

产品简(jiǎn)介

采用(yòng)高(gāo)分辨率成像的明暗(àn)场晶圆表面检测,基于(yú)图像算(suàn)法、检测模型(xíng)和良品异常检测三种模式,检出晶圆表面缺(quē)陷,并提供数据统计分析(xī)

2D检测精确度
um

1

UPH
pcs/h

60

漏检(jiǎn)率
ppm

≤50

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