采用(yòng)高(gāo)分辨率成像的明暗(àn)场晶圆表面检测,基于(yú)图像算(suàn)法、检测模型(xíng)和良品异常检测三种模式,检出晶圆表面缺(quē)陷,并提供数据统计分析(xī)
2D检测精确度
um
1
UPH
pcs/h
60
漏检(jiǎn)率
ppm
≤50
先进算法储备(bèi)
AI大模(mó)型与(yǔ)小模型融合,支持基于(yú)良品和不良品的模型(xíng)训练方式,支持基于大模型(xíng)的智慧标注(zhù)和样本生成,解决样本(běn)不均衡(héng)场景下的快速上线,支持(chí)增量学习模(mó)式,控制样(yàng)本(běn)集规模(mó),提高模型迭代(dài)速度,支持并行(háng)、并(bìng)发的处理模式
数据统计和分析功能
用(yòng)于检测和生产过程中的(de)数据统计,提供多种(zhǒng)看(kàn)板模版;针对(duì)指定缺陷(xiàn)种类或者指(zhǐ)定时间段,提供多(duō)种良率统计方式;提(tí)供多种数据保(bǎo)存接口,生产过程可(kě)追溯;针对工业(yè)场景特(tè)点,支持灵活自由配置显示单元、统计(jì)指标、结果(guǒ)查(chá)询、导出、上传逻辑;集成统一(yī)、可(kě)视化的(de)多机位(wèi)硬(yìng)件接(jiē)口调(diào)试工具,使调(diào)试过(guò)程更加(jiā)便捷
算法(fǎ)特色
在复杂背(bèi)景影像中。我们依然可以(yǐ)将污染正确检出;可以将特(tè)定(dìng)特(tè)征瑕(xiá)疵给(gěi)予消除; 自动产生(shēng)针痕屏蔽(bì)。消除针痕位置(zhì),抓取针痕外的瑕疵